1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）
1.引言随着集成电路的不断发展，微电子机械系统(MEMS)的概念也被人们提出。
它源于集成电路，但发展至今，其内涵已经远远超越了集成电路。
MEMS是将传感器、执行器与集成电路集成于一体的微系统。
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2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案
课题要研究的问题：现有的柔性压力传感器的一个共同缺陷是测量范围小，在压力达到某一数值后，传感器的灵敏度曲线的斜率迅速减小，导致传感器的线性度下降，想要实现低成本制造分辨率高、灵敏度精确、超宽测量范围、响应迅速和可以进行复杂信号检测的柔性传感器依然是很难攻克的。
另一个弊端是制备工艺复杂，从环保的角度考虑，对环境污染比较大。
基于目前柔性电容式压力传感器主要存在的问题，本课题主要解决如下问题：①目前影响柔性压力传感器灵敏度的很多，例如柔性电介质的材料，介电常数的大小，本课题致力于制备柔性电介质样品并将其封装成可测元器件，并对制备好的元器件的力学性能和电学性能进行测试；②为了探究不同方向分布的曾敏粒子对灵敏度的影响，本课题致力于利用电场或磁场对复合柔性电介质中增敏粒子的分布及极化状态进行调控，分析固化后复合电介质的介电应变特性，并提取有效的介电应变系数；拟采用的研究手段：介电应变效应是近年来引起人们关注的新型耦合机制，是一种电容敏感效应，它表现为材料的介电系数随外加机械应力（或应变）发生线性变化。
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