1. 本选题研究的目的及意义
微型加速度传感器作为一种能够测量物体加速度的微型器件，近年来在航空航天、汽车电子、消费电子、生物医疗、工业控制等领域得到了广泛的应用。
随着物联网、智能制造等新兴产业的兴起，对微型加速度传感器的需求日益增长，对其性能也提出了更高的要求，如更高的灵敏度、更低的功耗、更小的尺寸等。
因此，研究微型加速度传感器的原理设计及制造技术具有重要的现实意义。
2. 本选题国内外研究状况综述
近年来，随着微机电系统(MEMS)技术的快速发展，微型加速度传感器技术取得了长足的进步。
以下将从国内外研究现状两方面进行综述：
1. 国内研究现状
4. 研究的方法与步骤
本课题研究将采用理论分析、数值模拟和实验研究相结合的方法，逐步开展以下研究工作：
1.文献调研阶段：查阅国内外相关文献，了解微型加速度传感器的研究现状、发展趋势以及最新的技术成果，为课题研究奠定理论基础。
2.传感器设计阶段：根据应用需求，确定传感器主要性能指标，选择合适的传感器类型，并利用有限元分析软件对传感器结构进行设计和优化，以获得最佳的性能参数。
3.制造工艺研究阶段：根据设计的传感器结构，选择合适的微加工工艺，并进行工艺参数优化，制备出满足性能要求的微型加速度传感器原型。
5. 研究的创新点
本课题将在以下方面力争取得创新性成果：
1.微型加速度传感器结构设计方面：探索新型的传感器结构设计，例如采用微悬臂梁、微压阻效应等原理，以提高传感器的灵敏度、分辨率和可靠性。
2.微型加速度传感器制造工艺方面：研究新的微加工工艺，例如采用表面微加工技术、体微加工技术等，以提高传感器的性能和一致性，降低制造成本。
3.微型加速度传感器应用领域拓展方面：将微型加速度传感器应用于新的领域，例如医疗健康、环境监测、智能家居等，以满足社会发展的新需求。
6. 计划与进度安排
第一阶段 （2024.12~2024.1）确认选题，了解毕业论文的相关步骤。
第二阶段（2024.1~2024.2）查询阅读相关文献，列出提纲
第三阶段（2024.2~2024.3）查询资料，学习相关论文
7. 参考文献（20个中文5个英文）
[1] 王浩,王东,张宝峰,等.MEMS加速度传感器温度特性研究[J].传感器与微系统,2022,41(07):129-133.
[2] 孙浩,张涛,张晓静,等.基于MEMS加速度传感器的三维姿态解算算法[J].仪表技术与传感器,2022,41(05):75-79 84.
[3] 杨龙,王丽娜,徐博,等.基于MEMS加速度传感器的帆板振动测量系统[J].传感器与微系统,2022,41(03):128-131.
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